Verfahren zur Herstellung von Siliciumnitridfilmen
EP1802787
Art A1
4. Juli 2007
Anmelder: L'AIR LIQUIDE, Société Anonyme pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude 🇫🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1802787
- Aktenzeichen
- EP05777795
- Anmeldetag
- 17. August 2005
- Veröffentlichung
- 4. Juli 2007
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C16/34H01L21/318
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- L'AIR LIQUIDE, Société Anonyme pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude
- Land
- 🇫🇷 Frankreich
🇫🇷
Air Liquide
Französischer Konzern für Industriegase und medizinische Gase, gegründet 1902 auf Basis des Luftverflüssigungsverfahrens von Georges Claude. Beliefert Industrie, Gesundheitswesen und Elektronikfertigung mit Gasen und Anlagentechnik.
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Vertreten von
Conan, Philippe Claude
Paris, Frankreich
465
Patente gesamt
28
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4
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