Verfahren zum Entfernen von Verunreinigungen von einem Substrat und Verfahren zur Herstellung einer Reinigungslösung

EP1803504 Art A3 12. Oktober 2011

Anmelder: Lam Research Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1803504
Aktenzeichen
EP06256120
Anmeldetag
29. November 2006
Veröffentlichung
12. Oktober 2011
Rechtsraum
EP
IPC
C11D11/00C11D17/00C11D3/20B08B3/08H01L21/00C11D9/26G03F7/42H01L21/306H05K3/26C11D9/00
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
Lam Research Corporation
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Lam Research

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

2.725 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik Verfahrens- & Trenntechnik
Vertreten von
Kontrus, Gerhard Villach, Österreich
229
Patente gesamt
16
Fachgebiete
3
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Verfahrens- & Trenntechnik Elektronik & Schaltungstechnik Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Optik & Fototechnik
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