Verfahren und Material zur Reinigung eines Substrats

EP1803804 Art B1 27. Februar 2013

Anmelder: Lam Research Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1803804
Aktenzeichen
EP06256133
Anmeldetag
30. November 2006
Veröffentlichung
27. Februar 2013
Erteilung
27. Februar 2013
Rechtsraum
EP
IPC
C11D17/00B08B3/04C11D3/20B08B3/10C11D11/00G03F7/42H05K3/26// H01L21/306
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
Lam Research Corporation
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Lam Research

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

2.725 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik Verfahrens- & Trenntechnik
Vertreten von
Kontrus, Gerhard Villach, Österreich
229
Patente gesamt
16
Fachgebiete
3
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Verfahrens- & Trenntechnik Elektronik & Schaltungstechnik Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Optik & Fototechnik
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