Verfahren zur Herstellung gedämpfter Phasenverschiebungsmasken und daraus erhaltene Vorrichtungen
EP1804119
Art A1
4. Juli 2007
Anmelder: IMEC, Sony Corporation, SONY CORPORATION, Interuniversitair Micro-Elektronica Centrum 🇧🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1804119
- Aktenzeichen
- EP05077992
- Anmeldetag
- 27. Dezember 2005
- Veröffentlichung
- 4. Juli 2007
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F1/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- IMEC
Sony Corporation
SONY CORPORATION
Interuniversitair Micro-Elektronica Centrum - Land
- 🇧🇪 Belgien
🇧🇪
imec
Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.
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🇯🇵
Sony Group
Japanischer Technologie- und Unterhaltungskonzern mit Sitz in Tokio. Sony entwickelt Unterhaltungselektronik, Bildsensoren, Spielesysteme sowie Musik- und Filmangebote.
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Fachgebiete
Vertreten von
Bird, William Edward
Heverlee, Belgien
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19
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