Positive Resistzusammensetzung und Verfahren zur Strukturformung unter Verwendung dieser Zusammensetzung

EP1804120 Art A1 4. Juli 2007

Anmelder: Fujifilm Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1804120
Aktenzeichen
EP06026966
Anmeldetag
27. Dezember 2006
Veröffentlichung
4. Juli 2007
Rechtsraum
EP
IPC
G03F7/039
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Fujifilm Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Fujifilm

Japanischer Konzern, hervorgegangen aus der Fotofilmherstellung, heute aktiv in Bildgebung, Dokumentenlösungen, Materialwissenschaften sowie Diagnostik und Arzneimittelherstellung.

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