Optisches metrologisches System und Charakterisierungsverfahren für eine Metrologiemarke

EP1804126 Art B1 4. Februar 2009

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1804126
Aktenzeichen
EP06256399
Anmeldetag
15. Dezember 2006
Veröffentlichung
4. Februar 2009
Erteilung
4. Februar 2009
Rechtsraum
EP
IPC
G03F9/00
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
ASML Netherlands B.V.
Land
🇳🇱 Niederlande
🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

3.336 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Noch Fragen?

Wir helfen Ihnen gerne weiter. Schreiben Sie uns einfach.

Kontakt aufnehmen