Herstellungsverfahren von hochintegrierten Schaltungsbauelementen

EP1804282 Art A1 4. Juli 2007

Anmelder: IMEC, Interuniversitair Microelektronica Centrum vzw ( IMEC) 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1804282
Aktenzeichen
EP05078031
Anmeldetag
29. Dezember 2005
Veröffentlichung
4. Juli 2007
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/308H01L21/033H01L21/8244H01L27/11
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
IMEC
Interuniversitair Microelektronica Centrum vzw ( IMEC)
Land
🇧🇪 Belgien
🇧🇪 imec

Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.

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