Vorrichtung und Verfahren zur Oberflächenbehandlung eines Substrats unter Verwendung eines Aktivierten Reaktiven Gases
EP1805346
Art A2
11. Juli 2007
Anmelder: Air Products and Chemicals, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1805346
- Aktenzeichen
- EP05801159
- Anmeldetag
- 20. September 2005
- Veröffentlichung
- 11. Juli 2007
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C16/452
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Air Products and Chemicals, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Air Products
US-amerikanisches Industriegasunternehmen mit Sitz in Allentown, Pennsylvania, Hersteller und Lieferant von Industriegasen sowie zugehörigen Anlagen und Verfahrenstechnik.
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Schwabe, Hans-Georg
München, Deutschland
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