Reaktionsmassenauslöser mit Sechs Freiheitsgraden

EP1805544 Art A1 11. Juli 2007

Anmelder: Carl Zeiss SMT AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1805544
Aktenzeichen: EP05817929
Anmeldetag: 18. Oktober 2005
Veröffentlichung: 11. Juli 2007
Rechtsraum: EP
IPC: G02B7/182G03F7/20F16F15/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT AG
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Maschinenelemente & Fluidtechnik Optik & Fototechnik

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