Optisches Abbildungssystem, Belichtungssystem und Belichtungsverfahren

EP1806611 Art B1 10. April 2013

Anmelder: NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1806611
Aktenzeichen: EP05793148
Anmeldetag: 12. Oktober 2005
Veröffentlichung: 10. April 2013
Erteilung: 10. April 2013
Rechtsraum: EP
IPC: G02B13/24

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: NIKON CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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