Substrattransfervorrichtung, Substrattransferverfahren und Belichtungsvorrichtung

EP1806767 Art B1 4. Juli 2018

Anmelder: Nikon Corporation, NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1806767
Aktenzeichen: EP05795225
Anmeldetag: 21. Oktober 2005
Veröffentlichung: 4. Juli 2018
Erteilung: 4. Juli 2018
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20H01L21/00G03F1/24G03F1/48G03F1/62H01L21/67H01L21/677B82Y10/00B82Y40/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Nikon Corporation
NIKON CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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