Handhabung der Ablagerungen eines Euv-Kollektors

EP1807866 Art B1 6. März 2013

Anmelder: Cymer, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1807866
Aktenzeichen: EP05851232
Anmeldetag: 20. Oktober 2005
Veröffentlichung: 6. März 2013
Erteilung: 6. März 2013
Rechtsraum: EP
IPC: B08B7/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Cymer, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Cymer

Cymer ist ein US-amerikanisches Unternehmen für Lichtquellen zur Halbleiterlithografie, das zum ASML-Konzern gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich sehr stark auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Fototechnik. Anmeldungen laufen kontinuierlich seit dem Jahr 2000.

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Fachgebiete

Verfahrens- & Trenntechnik

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