Ionenstrahl-Sputtereinrichtung und Verfahren zur Bildung eines Mehrschichtigen Films für Reflektierende Maskenrohlinge für die Euv-Lithographie

EP1808509 Art A1 18. Juli 2007

Anmelder: Asahi Glass Company, Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1808509
Aktenzeichen: EP05805110
Anmeldetag: 21. Oktober 2005
Veröffentlichung: 18. Juli 2007
Rechtsraum: EP
IPC: C23C14/46C23C14/34G03F1/16H01L21/027H01L21/285

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Asahi Glass Company, Limited
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 AGC (Asahi Glass)

Japanischer Glas- und Chemiekonzern mit Sitz in Tokio, früher als Asahi Glass Company firmierend. AGC entwickelt Flachglas, elektronische Materialien, Spezialchemikalien sowie Glasprodukte für Automobil-, Bau- und Elektronikindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Optik & Fototechnik

Vertreten von