Dünnfilmherstellungsvorrichtung

EP1808510 Art A3 6. Mai 2009

Anmelder: Canon Anelva Corporation, Noda, Suguru, PhyzChemix Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1808510
Aktenzeichen
EP06125734
Anmeldetag
8. Dezember 2006
Veröffentlichung
6. Mai 2009
Rechtsraum
EP
IPC
C23C16/448C23C16/14
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen
Canon Anelva Corporation
Noda, Suguru
PhyzChemix Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Canon Anelva

Canon Anelva ist ein japanischer Hersteller von Vakuum- und Beschichtungsanlagen für die Halbleiterindustrie und Teil des Canon-Konzerns. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie und Oberflächentechnik, ergänzt um Schaltungstechnik. Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2024 ab.

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