Strahlvorrichtung für geladene Teilchen
EP1808882
Art B8
8. Februar 2012
Anmelder: Carl Zeiss SMT Limited 🇬🇧
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1808882
- Aktenzeichen
- EP07250050
- Anmeldetag
- 8. Januar 2007
- Veröffentlichung
- 8. Februar 2012
- Erteilung
- 8. Februar 2012
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/26
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Carl Zeiss SMT Limited
- Land
- 🇬🇧 Großbritannien
🇩🇪
Carl Zeiss SMT
Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.
1.949 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Roberts, David Leslie
Cambridge, Großbritannien
96
Patente gesamt
25
Fachgebiete
11
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Schwerpunkte