System und Verfahren zur Bildung einer gleichmässigen Siliziumoxidschicht mit mehreren Ebenen für optische Anwendungen

EP1808888 Art A2 18. Juli 2007

Anmelder: Honeywell International Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1808888
Aktenzeichen
EP07100603
Anmeldetag
16. Januar 2007
Veröffentlichung
18. Juli 2007
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/316// H01L21/20
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Honeywell International Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Honeywell

US-amerikanischer Mischkonzern mit Schwerpunkten in Luft- und Raumfahrttechnik, Automatisierungslösungen, Gebäudetechnik sowie Spezialchemikalien und -materialien für Industrie- und Verteidigungskunden.

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