Kupferabscheidung in der Mikroelektronik

EP1810322 Art B1 27. Juli 2022

Anmelder: MacDermid Enthone Inc., Enthone Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1810322
Aktenzeichen
EP05851560
Anmeldetag
14. November 2005
Veröffentlichung
27. Juli 2022
Erteilung
27. Juli 2022
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/288C25D3/38C25D7/12H01L21/768
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
MacDermid Enthone Inc.
Enthone Inc.
Land
🇺🇸 USA

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