Verfahren zur Ausbildung eines Kupferhaltigen Films

EP1811059 Art B1 31. Oktober 2012

Anmelder: ULVAC, INC., Ube Industries, Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1811059
Aktenzeichen: EP05787960
Anmeldetag: 27. September 2005
Veröffentlichung: 31. Oktober 2012
Erteilung: 31. Oktober 2012
Rechtsraum: EP
IPC: C23C16/18H01L21/3205H01L21/285C07F7/18

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: ULVAC, INC.
Ube Industries, Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

444 Patente in unserer Datenbank

🇯🇵 Ube Industries

Ube Industries war ein japanischer Mischkonzern mit Sitz in Ube, tätig in den Bereichen Chemie, Zement und Maschinenbau. Das Unternehmen firmiert seit 2022 als UBE Corporation.

801 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Organische Chemie

Vertreten von