Dämpfer und Vakuumpumpe

EP1811175 Art B1 5. Oktober 2011

Anmelder: Edwards Japan Limited, BOC Edwards Japan Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1811175
Aktenzeichen
EP05793172
Anmeldetag
13. Oktober 2005
Veröffentlichung
5. Oktober 2011
Erteilung
5. Oktober 2011
Rechtsraum
EP
IPC
F04B37/14F04D19/04
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen
Edwards Japan Limited
BOC Edwards Japan Limited
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Edwards Japan

Edwards Japan ist die japanische Landesgesellschaft des Vakuumpumpenherstellers Edwards, der zur Atlas-Copco-Gruppe gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Energie- und Antriebstechnik sowie Maschinenelemente und Fluidtechnik, mit Bezug zur Halbleiterfertigung. Die Titel betreffen unter anderem die Erkennung von Fremdstoffablagerungen in Vakuumpumpen.

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