Vakuumabführvorrichtung

EP1811176 Art A1 25. Juli 2007

Anmelder: Edwards Japan Limited, BOC Edwards Japan Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1811176
Aktenzeichen
EP05745938
Anmeldetag
1. Juni 2005
Veröffentlichung
25. Juli 2007
Rechtsraum
EP
IPC
F04B37/16F04D19/04F04D29/16
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Edwards Japan Limited
BOC Edwards Japan Limited
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Edwards Japan

Edwards Japan ist die japanische Landesgesellschaft des Vakuumpumpenherstellers Edwards, der zur Atlas-Copco-Gruppe gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Energie- und Antriebstechnik sowie Maschinenelemente und Fluidtechnik, mit Bezug zur Halbleiterfertigung. Die Titel betreffen unter anderem die Erkennung von Fremdstoffablagerungen in Vakuumpumpen.

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