Mehrpol-Linse and Ladungsträgerteilchenstrahlgerät mit einer Mehrpol-Linse

EP1811540 Art B1 15. Oktober 2008

Anmelder: JEOL LTD., JEOL Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1811540
Aktenzeichen
EP07008813
Anmeldetag
24. Juni 2004
Veröffentlichung
15. Oktober 2008
Erteilung
15. Oktober 2008
Rechtsraum
EP
IPC
H01J37/141H01J37/153
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
JEOL LTD.
JEOL Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 JEOL

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Tokio, das wissenschaftliche und industrielle Präzisionsgeräte entwickelt, darunter Elektronenmikroskope, Analysegeräte und Halbleiterfertigungsanlagen.

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