Vorrichtung und Verfahren zum Ablagern von Feinpartikeln

EP1811553 Art A1 25. Juli 2007

Anmelder: HOYA CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1811553
Aktenzeichen: EP05795475
Anmeldetag: 21. Oktober 2005
Veröffentlichung: 25. Juli 2007
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/368H01L33/00H01L29/06H01J37/30C23C14/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: HOYA CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hoya

Japanischer Konzern mit Sitz in Tokio, aktiv in den Bereichen optische Gläser, Halbleiterfotomasken und medizinische Endoskopie- sowie Augenheilkundeprodukte.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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