Verfahren und Vorrichtung zur Messung von Halbleiterplatten

EP1812205 Art A1 1. August 2007

Anmelder: Soitec, S.O.I.TEC. Silicon on Insulator Technologies S.A. 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1812205
Aktenzeichen
EP05819322
Anmeldetag
15. November 2005
Veröffentlichung
1. August 2007
Rechtsraum
EP
IPC
B24B37/04B24B49/02
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Soitec
S.O.I.TEC. Silicon on Insulator Technologies S.A.
Land
🇫🇷 Frankreich
🇫🇷 Soitec

Französischer Halbleiterhersteller mit Sitz in Bernin, spezialisiert auf Silicon-on-Insulator (SOI) Substrate. Patente decken Halbleitermaterialien und Waferbondtechnik ab.

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