CVD-Verfahren

EP1812618 Art B1 26. November 2014

Anmelder: OKMETIC OYJ 🇫🇮

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1812618
Aktenzeichen
EP05799498
Anmeldetag
5. Oktober 2005
Veröffentlichung
26. November 2014
Erteilung
26. November 2014
Rechtsraum
EP
IPC
C30B25/02H01L21/02C23C16/24C30B29/06
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
OKMETIC OYJ
Land
🇫🇮 Finnland
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