Multistrahlmodulator für einen Partikelstrahl und Verwendung des Multistrahlmodulators zur Maskenlosen Substratsstrukturierung
EP1812947
Art B2
10. August 2016
Anmelder: Vistec Electron Beam GmbH 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1812947
- Aktenzeichen
- EP05804489
- Anmeldetag
- 25. Oktober 2005
- Veröffentlichung
- 10. August 2016
- Erteilung
- 10. August 2016
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/317
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Vistec Electron Beam GmbH
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
Fachgebiete
Vertreten von
Freitag, Joachim
Jena, Deutschland
93
Patente gesamt
22
Fachgebiete
7
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Oehmke, Volker
NoneJena
-
Bertram, Helmut
NoneJena