Fluidspeicher- und -Abgabesystem mit Dynamischer Fluidüberwachung des Fluidspeicher- und Abgabebehälters
EP1812965
Art A2
1. August 2007
Anmelder: ENTEGRIS INC., ADVANCED TECHNOLOGY MATERIALS, INC. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1812965
- Aktenzeichen
- EP05815611
- Anmeldetag
- 24. Oktober 2005
- Veröffentlichung
- 1. August 2007
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/44H01L21/31C23C16/30F17C11/00G01F22/02G01M3/32
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- ENTEGRIS INC.
ADVANCED TECHNOLOGY MATERIALS, INC. - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Entegris
US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.
899 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
ABG Patentes, S.L
Madrid, Spanien
2.380
Patente gesamt
34
Fachgebiete
37
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Greaves Brewster LLP
Greaves Brewster LLP · Cheddar