Rohling für Halbton-Phasenschiebermaske, Halbton-Phasenschiebermaske sowie Verfahren zum Übertragen eines Musters

EP1813983 Art B1 30. Juni 2010

Anmelder: Shin-Etsu Chemical Co., Ltd., Toppan Printing Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1813983
Aktenzeichen
EP07008067
Anmeldetag
31. März 2005
Veröffentlichung
30. Juni 2010
Erteilung
30. Juni 2010
Rechtsraum
EP
IPC
G03F1/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.
Toppan Printing Co., Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Shin-Etsu Chemical

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio. Shin-Etsu Chemical stellt Siliziumwafer für Halbleiter, Silikonprodukte, PVC und weitere Spezialchemikalien für Elektronik-, Bau- und Industrieanwendungen her.

1.545 Patente in unserer Datenbank

🇯🇵 Toppan Printing

Japanischer Konzern für Druck- und Verpackungstechnologien mit Sitz in Tokio, seit 1900 tätig. Produziert zudem Displays, Halbleitermasken und Sicherheitsdrucke.

1.905 Patente in unserer Datenbank

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