Substratträgervorrichtung, Substratträgerverfahren und Belichtungsvorrichtung

EP1814142 Art A1 1. August 2007

Anmelder: Nikon Corporation, NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1814142
Aktenzeichen: EP05806028
Anmeldetag: 11. November 2005
Veröffentlichung: 1. August 2007
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/677H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Nikon Corporation
NIKON CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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