Temperaturregelungsverfahren und -System für eine Flüssigkeit mit Niedriger Strömungsrate
Anmelder: SMC CORPORATION, TOKYO ELECTRON LIMITED 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1814145
- Aktenzeichen
- EP05805550
- Anmeldetag
- 7. November 2005
- Veröffentlichung
- 1. August 2007
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/027B29C45/73F17D1/14G03F7/20H01L21/02H01L35/28G05D23/19
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- SMC CORPORATION
TOKYO ELECTRON LIMITED - Land
- 🇯🇵 Japan
SMC ist ein japanischer Hersteller von Pneumatik- und Automatisierungskomponenten. Das Patentportfolio konzentriert sich sehr stark auf Maschinenelemente und Fluidtechnik, ergänzt um Fertigungstechnik und Halbleiterbauelemente. Anmeldungen sind seit 2000 dokumentiert.
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Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.
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Reddie & Grose wurde 1907 gegründet und ist neben London und Cambridge auch in München und Den Haag vertreten. Sie gilt laut Fachpresse als besonders versiert im Umgang mit komplexen technischen Fragestellungen vor EPA und UPC.