Verfahren zur Polierung eines Gan Substrats

EP1814149 Art B1 14. September 2011

Anmelder: Sumitomo Electric Industries, Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1814149
Aktenzeichen: EP05822594
Anmeldetag: 28. Dezember 2005
Veröffentlichung: 14. September 2011
Erteilung: 14. September 2011
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/304B24B37/04C30B29/40C30B33/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Sumitomo Electric Industries, Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Sumitomo Electric Industries

Japanischer Technologiekonzern mit Sitz in Osaka, Teil der Sumitomo-Gruppe. Aktiv in Kabel- und Glasfasertechnologie, Halbleitern, Automobilkomponenten sowie Elektronik- und Werkstofftechnik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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