Z-Trägervorrichtung mit Feinstufe
EP1814427
Art A2
8. August 2007
Anmelder: NIKON CORPORATION 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1814427
- Aktenzeichen
- EP05826284
- Anmeldetag
- 4. November 2005
- Veröffentlichung
- 8. August 2007
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03B27/42G03B27/58
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- NIKON CORPORATION
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Nikon
Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.
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Vertreten von
Wiedemann, Peter
München, Deutschland
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