Verfahrenskammerkomponente mit Überzugsschichten und Verfahren

EP1815038 Art B1 1. März 2017

Anmelder: Applied Materials, Inc., APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1815038
Aktenzeichen
EP05856973
Anmeldetag
18. November 2005
Veröffentlichung
1. März 2017
Erteilung
1. März 2017
Rechtsraum
EP
IPC
C23C4/02C23C4/131C23C28/02C23C28/00C23C30/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Applied Materials, Inc.
APPLIED MATERIALS, INC.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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