Steuerung von Photoelektrochemischem Ätzen mittels Änderung des Lokalen Elektrochemischen Potenzials der Halbleiterstruktur in Bezug auf den Elektrolyt

EP1815504 Art A1 8. August 2007

Anmelder: The Regents of the University of California 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1815504
Aktenzeichen
EP05851344
Anmeldetag
2. November 2005
Veröffentlichung
8. August 2007
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/3063H01S5/125H01L33/00H01S5/10H01S5/323
Offizieller Volltext

Abstract

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Firma
The Regents of the University of California
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 University of California

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