Zug- und Druckgespannte Materialien für Halbleiter

EP1815505 Art A2 8. August 2007

Anmelder: Applied Materials, Inc., APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1815505
Aktenzeichen
EP05848796
Anmeldetag
10. November 2005
Veröffentlichung
8. August 2007
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/318H01L21/3105C23C16/34C23C16/56
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Applied Materials, Inc.
APPLIED MATERIALS, INC.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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