Optisches Projektionssystem, Belichtungsgeräte und Belichtungsverfahren

EP1816502 Art B1 22. Juni 2011

Anmelder: NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1816502
Aktenzeichen: EP05799383
Anmeldetag: 26. Oktober 2005
Veröffentlichung: 22. Juni 2011
Erteilung: 22. Juni 2011
Rechtsraum: EP
IPC: G02B13/14G02B13/24G03F7/20// G02B13/22

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: NIKON CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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