Optisches System zum Transformieren der numerischen Apertur
EP1816520
Art A3
15. August 2007
Anmelder: ASML Holding N.V. 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1816520
- Aktenzeichen
- EP07250344
- Anmeldetag
- 27. Januar 2007
- Veröffentlichung
- 15. August 2007
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ASML Holding N.V.
- Land
- 🇳🇱 Niederlande
🇳🇱
ASML
Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.
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Vertreten von
Roberts, Peter David
Manchester, Großbritannien
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