Fehlervorhersageschema für ein Leistungsabgabesystem zur Verarbeitung dünner Industriefolien
EP1816670
Art B1
14. September 2011
Anmelder: MKS Instruments, Inc., Eni Technology, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1816670
- Aktenzeichen
- EP07010419
- Anmeldetag
- 21. Januar 2002
- Veröffentlichung
- 14. September 2011
- Erteilung
- 14. September 2011
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/32H02J13/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- MKS Instruments, Inc.
Eni Technology, Inc. - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
MKS Instruments
MKS Instruments ist ein US-amerikanischer Hersteller von Prozesssteuerungs- und Messinstrumenten für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Massachusetts. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt um Steuerungstechnik. Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2025 ab.
425 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Neumann, Ernst Dieter
Köln, Deutschland
161
Patente gesamt
23
Fachgebiete
7
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Schwerpunkte