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EP1817544 Art A2 15. August 2007

Anmelder: Nanometrics Incorporated, Industrial Technology Research Institute, Accent Optical Technologies Nanometrics, Inc., Accent Optical Technologies, Inc., Industrial Research Technology Institute 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1817544
Aktenzeichen
EP05809063
Anmeldetag
11. Oktober 2005
Veröffentlichung
15. August 2007
Rechtsraum
EP
IPC
G01B11/00H01L21/76G01B11/14H01L23/544
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Nanometrics Incorporated
Industrial Technology Research Institute
Accent Optical Technologies Nanometrics, Inc.
Accent Optical Technologies, Inc.
Industrial Research Technology Institute
Land
🇺🇸 USA
🇹🇼 Industrial Technology Research Institute

Taiwanisches Forschungsinstitut für angewandte Technologie, entwickelt und überträgt Innovationen aus Elektronik, Materialwissenschaft und Industrietechnik in die Wirtschaft.

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