Verfahren zu näherungsweisen Bestimmung des Einflusses eines optischen Systems auf den Polarisationszustand optischer Strahlung
EP1818658
Art A1
15. August 2007
Anmelder: Carl Zeiss SMT AG 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1818658
- Aktenzeichen
- EP06002586
- Anmeldetag
- 8. Februar 2006
- Veröffentlichung
- 15. August 2007
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01J4/04G03F7/20G01M11/02
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Carl Zeiss SMT AG
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Carl Zeiss SMT
Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.
1.949 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Summerer, Christian
München, Deutschland
2
Patente gesamt
5
Fachgebiete
1
Anmelder-Länder
Schwerpunkte