Verfahren und Vorrichtung zur Bildung eines Referenzdrucks in einer Kammer eines Kapazitätssensors
EP1819995
Art B1
10. Februar 2010
Anmelder: MKS Instruments, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1819995
- Aktenzeichen
- EP05803857
- Anmeldetag
- 3. Oktober 2005
- Veröffentlichung
- 10. Februar 2010
- Erteilung
- 10. Februar 2010
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01L9/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- MKS Instruments, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
MKS Instruments
MKS Instruments ist ein US-amerikanischer Hersteller von Prozesssteuerungs- und Messinstrumenten für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Massachusetts. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt um Steuerungstechnik. Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2025 ab.
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Brown, Kenneth Richard
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