Verfahren zur Selektiven Auftragung einer Schicht auf ein Strukturiertes Substrat durch Verwendung eines Temperaturgradienten im Substrat

EP1820005 Art B1 9. Januar 2019

Anmelder: Sensirion Holding AG, Sensirion AG 🇨🇭

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1820005
Aktenzeichen
EP05802973
Anmeldetag
23. November 2005
Veröffentlichung
9. Januar 2019
Erteilung
9. Januar 2019
Rechtsraum
EP
IPC
C23C16/04C23C16/40C23C16/453C23C16/46C23C16/48B81C1/00// G01N27/12
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Sensirion Holding AG
Sensirion AG
Land
🇨🇭 Schweiz
🇨🇭 Sensirion

Sensirion ist ein Schweizer Hersteller von Umwelt- und Durchflusssensoren mit Sitz in Stäfa. Das Patentportfolio ist stark auf Mess-, Prüf- und Zeitmesstechnik fokussiert, ergänzt durch Halbleiterbauelemente und Nachrichtentechnik. Anmeldungen laufen von 2000 bis in die Gegenwart.

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