Verfahren zur Herstellung von stellenselektiv geänderten Mikro- und Nanostrukturen

EP1820773 Art A3 22. Februar 2012

Anmelder: HITACHI, LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1820773
Aktenzeichen
EP07001038
Anmeldetag
18. Januar 2007
Veröffentlichung
22. Februar 2012
Rechtsraum
EP
IPC
B81C1/00B82Y40/00B82Y15/00B82Y10/00G03F7/00B29C43/02
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
HITACHI, LTD.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Hitachi

Japanischer Konzern, der Technik für Energie, Bahn, Industrieanlagen, Informationstechnik und Haushaltsgeräte entwickelt und herstellt.

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