Pumpanordnung für eine Vakuumbeschichtungsanlage und Vakuumbeschichtungsanlage

EP1820880 Art A1 22. August 2007

Anmelder: Applied Materials GmbH & Co. KG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1820880
Aktenzeichen: EP06002067
Anmeldetag: 1. Februar 2006
Veröffentlichung: 22. August 2007
Rechtsraum: EP
IPC: C23C14/34

Offizieller Volltext

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Anmelder

Firma: Applied Materials GmbH & Co. KG
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik

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