Strukturierungsmethode beinhaltend eine Resistzusammensetzung und einen überkritischen Entwicklungsschritt
EP1821147
Art A1
22. August 2007
Anmelder: TOKYO OHKA KOGYO CO., LTD. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1821147
- Aktenzeichen
- EP07290209
- Anmeldetag
- 19. Februar 2007
- Veröffentlichung
- 22. August 2007
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/039G03F7/32
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- TOKYO OHKA KOGYO CO., LTD.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Tokyo Ohka Kogyo
Tokyo Ohka Kogyo (TOK) ist ein japanischer Chemiekonzern, der vor allem Fotolacke und Materialien für die Halbleiterfertigung herstellt. Das Portfolio konzentriert sich entsprechend auf Optik und Fototechnik sowie Halbleiter- und Bauelemente-Technik, ergänzt durch Kunststoff- und organische Chemie. Anmeldungen sind von 2000 bis in die Gegenwart belegt.
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Vertreten von
Touati, Catherine
Paris, Frankreich
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