Flüssigkeitsimmersionsbelichtungsvorrichtung und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
EP1821338
Art A1
22. August 2007
Anmelder: Nikon Corporation, NIKON CORPORATION 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1821338
- Aktenzeichen
- EP05814747
- Anmeldetag
- 9. Dezember 2005
- Veröffentlichung
- 22. August 2007
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/027G03F7/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Nikon Corporation
NIKON CORPORATION - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Nikon
Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.
3.320 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Wiebusch, Manfred
Bielefeld, Deutschland
247
Patente gesamt
28
Fachgebiete
10
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Schwerpunkte
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-
Ter Meer Steinmeister & Partner
Ter Meer Steinmeister & Partner · München