Verfahren und Vorrichtung zum Speichern von Kalibrierungsparametern und Messdaten eines Vakuummeters in einer Vakuummessanordnung
EP1825241
Art B1
5. März 2014
Anmelder: MKS Instruments, Inc., Brooks Automation, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1825241
- Aktenzeichen
- EP05852494
- Anmeldetag
- 29. November 2005
- Veröffentlichung
- 5. März 2014
- Erteilung
- 5. März 2014
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01L21/10G01L21/30
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- MKS Instruments, Inc.
Brooks Automation, Inc. - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
MKS Instruments
MKS Instruments ist ein US-amerikanischer Hersteller von Prozesssteuerungs- und Messinstrumenten für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Massachusetts. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt um Steuerungstechnik. Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2025 ab.
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Jenkins, Peter David
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