Behandlung zur Resteentfernung nach dem Ätzen
EP1825500
Art A2
29. August 2007
Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1825500
- Aktenzeichen
- EP05851584
- Anmeldetag
- 10. November 2005
- Veröffentlichung
- 29. August 2007
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/02H01L21/3065H01L21/306H01L21/768
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Applied Materials, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Applied Materials
US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.
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Vertreten von
Zimmermann, Gerd Heinrich
München, Deutschland
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