Deckschicht für lithografische Verfahren
EP1826613
Art A3
12. Januar 2011
Anmelder: Air Products and Chemicals, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1826613
- Aktenzeichen
- EP07003658
- Anmeldetag
- 22. Februar 2007
- Veröffentlichung
- 12. Januar 2011
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/075G03F7/11G03F7/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Air Products and Chemicals, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Air Products
US-amerikanisches Industriegasunternehmen mit Sitz in Allentown, Pennsylvania, Hersteller und Lieferant von Industriegasen sowie zugehörigen Anlagen und Verfahrenstechnik.
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