Lithografische Vorrichtung und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
EP1826615
Art A3
12. September 2007
Anmelder: ASML Netherlands BV 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1826615
- Aktenzeichen
- EP07075136
- Anmeldetag
- 15. Februar 2007
- Veröffentlichung
- 12. September 2007
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ASML Netherlands BV
- Land
- 🇳🇱 Niederlande
🇳🇱
ASML Netherlands
ASML Netherlands B.V. ist die niederländische Kernsparte des weltweit führenden Herstellers von Lithografiesystemen für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Veldhoven. Das Patentportfolio konzentriert sich sehr stark auf Optik und Fototechnik, ergänzt um Elektronik, elektrische Energietechnik und Halbleiterbauelemente. Anmeldungen reichen von 2000 bis 2020.
390 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Seitz, Holger Fritz Karl
Rijswijk, Niederlande
152
Patente gesamt
24
Fachgebiete
10
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Maas, Abraham Johannes
NoneVeldhoven
-
Van den Hooven, Jan
NoneVeldhoven
-
Riemens, Roelof Harm
NoneRijswijk