Anordnung für die Separation von Partikeln aus einem Plasma

EP1826810 Art B1 5. Dezember 2012

Anmelder: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1826810
Aktenzeichen: EP07003217
Anmeldetag: 15. Februar 2007
Veröffentlichung: 5. Dezember 2012
Erteilung: 5. Dezember 2012
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/32// C23C14/32

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Fraunhofer-Gesellschaft

Deutsche gemeinnützige Forschungsorganisation mit Sitz in München. Betreibt anwendungsorientierte Forschung in Technik und Naturwissenschaften über zahlreiche Institute für Industrie und Gesellschaft.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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